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我國化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石研究和產(chǎn)業(yè)化的過去、現(xiàn)在和未來

發(fā)布時間:2023-1-11
金剛石作為一種多功能超極限材料,具有優(yōu)異的電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)、聲學(xué)、電化學(xué)性能,在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域具有極佳的應(yīng)用前景。尤其是化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石膜的出現(xiàn),為金剛石在諸多高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用創(chuàng)造了可能性,因此在20世紀(jì)80年代早期引發(fā)了席卷全球的“金剛石熱”。

北京科技大學(xué)的呂反修教授在本綜述中介紹了我國CVD金剛石研究的歷史、現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,尤其是產(chǎn)業(yè)化進程。1987年初我國“863計劃”正式啟動,CVD金剛石膜研究從一開始就得到“863計劃”和國家自然科學(xué)基金的持續(xù)資助,在“八五”和“九五”期間曾設(shè)立重大關(guān)鍵技術(shù)項目。盡管“十五”期間,CVD金剛石膜研究經(jīng)歷了“最寒冷的冬天”,“863計劃”不再單列金剛石膜專題,國內(nèi)CVD金剛石膜研究也并未停止,金剛石膜產(chǎn)業(yè)化的勢頭同樣繼續(xù)加強。終于在“十一五”期間,CVD金剛石膜產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)出現(xiàn)并初步站穩(wěn)了腳跟?!笆濉逼陂g,航空航天、電子等部門都相繼提出對金剛石膜的應(yīng)用需求,CVD金剛石膜研究和應(yīng)用繼續(xù)回暖,并逐步發(fā)展壯大。 

本文對我國CVD金剛石膜研究進行了全面深入的回顧,還詳細介紹了金剛石膜的機械(摩擦)、熱學(xué)、光學(xué)、電子和聲學(xué)應(yīng)用現(xiàn)狀和發(fā)展前景。實驗室培育金剛石的成功是中國CVD金剛石薄膜研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中最重要的成就。

相關(guān)的成果以“Past, present, and the future of the research and commercialization of CVD diamond in China”為題,發(fā)表在Functional Diamond 雜志上。    



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